介質求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體,請參考背面
一臺設備內置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測量范圍 0.01~100
*大顯示流量 128*滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± (0.8*讀數 + 0.2*滿量程)見上段精度升級部分
± (0.4*讀數 + 0.2*滿量程)(可選)
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5*額外誤差
重 復 性 ±(0.2*讀數+0.02*滿量程)
質量流量溫度漂移 0.03*滿量程當溫度從25℃起每變化1℃
質量流量壓力漂移 ±(0.08 *讀數 + 0.02 *滿量程)當壓力從標定壓力起,每變化1bar
響應時間 優(yōu)于10 ms
預熱時間 < 1 s
標定工況 25 ℃&1 Atm(可現(xiàn)場在測量范圍內隨意更改)
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95 *,無冷凝
*大工作壓力 0.3 MPa表壓,進出口*大允許瞬時壓差70 Kpa
*低操作壓力 如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80 KPaA以上使用;其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.5*讀數(讀數>1 Atm),或±0.1PSIA(<1Atm)
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可選*二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 *滿量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC(如選4 - 20 mA輸出,須為15 - 30 VDC)
供電電流 40 mA,80 mA(4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC)
電氣接口 DB9,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁